TC Wafer
TC Wafer 服务项目
1.新品制作
2.客制制作（各式形状材质）
3.TC Wafer维修
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3.TC Wafer维修
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TC Wafer简介
ØTC为热电偶（Thermocouple）之简称，TC Wafer则是直接镶嵌于晶圆表面之温度感测器，达成晶圆温度即时量测。
Ø藉由放置于晶圆表面特定位置之温度感测器，可获得这些特定位置之真实温度量测值以及整体晶圆温度分布；同时，亦可利用此感测器来持续监控在热处理过程中之晶圆暂态温度变化，例如：升温、降温过程及延迟周期等。
热电偶种类
热电偶种类
基本规格简介
Ø晶圆尺寸：2~12”
Ø组成：
Ø耐温线、耐高温线路板、保护管线
Ø提供标准长度 or 客制线长
Ø使用温度范围： ~ 1000℃（1000~1600℃超高温可客制）
Ø精度： ±1.1℃ or ±0.4%
Ø最大接点数：
ØT/C 保护线材质：耐温可挠式陶瓷纤维管or石英微套管
ØT/C 微型接头：Mini 、D-sub或指定使用等
本公司拥有10多年以上制作经验
依特殊工法解决掉点问题
本公司拥有10多年以上制作经验
依特殊工法解决掉点问题
特A级TC Wafer可测到小数点
第二位以下且温度精准
其 他 应 用
晶元规格形状、测温点位数、所需耐线长等
可依客户需求制作，欢迎随时来电或mail洽询