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商品介绍
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TC Wafer3

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TC Wafer

TC Wafer 服务项目

1.新品制作

2.客制制作(各式形状材质)

3.TC Wafer维修


TC Wafer 服务项目
1.新品制作                
       2.客制制作(各式形状材质)
3.TC Wafer维修       


TC Wafer简介

ØTC为热电偶(Thermocouple)之简称,TC Wafer则是直接镶嵌于晶圆表面之温度感测器,达成晶圆温度即时量测
Ø由放置于晶圆表面特定位置之温度感测器,可获得这些特定位置之真实温度量测值以及整体晶圆温度分布;同时,亦可利用此感测器来持续监控在热处理过程中之晶圆暂态温度变化,例如:升温、降温过程及延迟周期等


   热电偶
种类
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基本规格简介

Ø晶圆尺寸2~12”
Ø组成:
Ø耐温线耐高温线路板、保护管线
Ø提供标准长度 or 客制线长
Ø使用温度范围 ~ 1000(1000~1600℃超高温可客制)
Ø精度 ±1.1 or ±0.4%
Ø最大接点数
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ØT/C 保护线材质:耐温可挠式陶瓷纤维or石英微套管
ØT/C 微型接头Mini 、D-sub或指定使用


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本公司拥有10多年以上制作经验

  
依特殊工法解决掉点问题


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ATC Wafer可测到小数点

第二位以下且温度精准

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其 他 应 用
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晶元规格形状、测温点位数、所需耐线长等

可依客户需求制作,欢迎随时来电或mail洽询



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