• TC Wafer

    热电偶镶嵌于Wafer表面,做为晶圆表面温度感测器,可即时量测并监控模拟真实产品所摆放位置之各点温度,观察温度升温、降温等过程的周期变化。
    产品应用:
    HOT PLATE、FURNACE、PVD、LP CVD、RTP、SPUTTERING、CVD SYSTEM和其他需量测温度之制程。


  • Metal Cassette

    可客制化各类型之 2“~12”金属晶舟盒(Metal Cassette )
    用於支援手动及自动化晶圆处理,并可承受高温之应用。


  • 客制各式测温元件、加热器

    可客制不同型式的测温元件及加热器