• TC Wafer

    熱電偶鑲嵌于Wafer表面,做為晶圓表面溫度感測器,可即時量測並監控模擬真實產品所擺放位置之各點溫度,觀察溫度昇溫、降溫等過程的週期變化。
    產品應用:
    HOT PLATE、FURNACE、PVD、LP CVD、RTP、SPUTTERING、CVD SYSTEM和其他需量測溫度之製程。


  • Metal Cassette

    可客製化各類型之 2“~12”金屬晶舟盒(Metal Cassette )
    用於支援手動及自動化晶圓處理,並可承受高溫之應用。


  • 客製各式測溫元件、加熱器

    可客製不同型式的測溫元件及加熱器