TC Wafer
TC Wafer 服務項目
1.新品製作
2.客製製作（各式形狀材質）
3.TC Wafer維修
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3.TC Wafer維修
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3.TC Wafer維修
TC Wafer簡介
ØTC為熱電偶（Thermocouple）之簡稱，TC Wafer則是直接鑲嵌于晶圓表面之溫度感測器，達成晶圓溫度即時量測。
Ø藉由放置于晶圓表面特定位置之溫度感測器，可獲得這些特定位置之真實溫度量測值以及整體晶圓溫度分布；同時，亦可利用此感測器來持續監控在熱處理過程中之晶圓暫態溫度變化，例如：昇溫、降溫過程及延遲週期等。
熱電偶種類
熱電偶種類
基本規格簡介
Ø晶圓尺寸：2~12”
Ø組成：
Ø耐溫線、耐高溫線路板、保護管線
Ø提供標準長度 or 客製線長
Ø使用溫度範圍： ~ 1000℃（1000~1600℃超高溫可客製）
Ø精度： ±1.1℃ or ±0.4%
Ø最大接點數：
ØT/C 保護線材質：耐溫可撓式陶瓷纖維管or石英微套管
ØT/C 微型接頭：Mini 、D-sub或指定使用等
本公司擁有10多年以上製作經驗
依特殊工法解決掉點問題
本公司擁有10多年以上製作經驗
依特殊工法解決掉點問題
特A級TC Wafer可測到小數點
第二位以下且溫度精準
其 他 應 用
晶元規格形狀、測溫點位數、所需耐線長等
可依客戶需求製作，歡迎隨時來電或mail洽詢