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商品介紹TC WaferTC Wafer

TC Wafer


TC Wafer 服務項目
1.新品製作                
       2.客製製作(各式形狀材質)
3.TC Wafer維修       


TC Wafer簡介

ØTC為熱電偶(Thermocouple)之簡稱,TC Wafer則是直接鑲嵌于晶圓表面之溫度感測器,達成晶圓溫度即時量測
Ø由放置于晶圓表面特定位置之溫度感測器,可獲得這些特定位置之真實溫度量測值以及整體晶圓溫度分布;同時,亦可利用此感測器來持續監控在熱處理過程中之晶圓暫態溫度變化,例如:昇溫、降溫過程及延遲週期等


   熱電偶
種類



基本規格簡介

Ø晶圓尺寸2~12”
Ø組成:
Ø耐溫線耐高溫線路板、保護管線
Ø提供標準長度 or 客製線長
Ø使用溫度範圍 ~ 1000(1000~1600℃超高溫可客製)
Ø精度 ±1.1 or ±0.4%
Ø最大接點數


ØT/C 保護線材質:耐溫可撓式陶瓷纖維or石英微套管
ØT/C 微型接頭Mini 、D-sub或指定使用





本公司擁有10多年以上製作經驗

  
依特殊工法解決掉點問題






ATC Wafer可測到小數點

第二位以下且溫度精準












其 他 應 用








晶元規格形狀、測溫點位數、所需耐線長等

可依客戶需求製作,歡迎隨時來電或mail洽詢