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商品介紹
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TC Wafer3
  • TC Wafer

    熱電偶鑲嵌于Wafer表面,做為晶圓表面溫度感測器,可即時量測並監控模擬真實產品所擺放位置之各點溫度,觀察溫度昇溫、降溫等過程的週期變化。
    產品應用:
    HOT PLATE、FURNACE、PVD、LP CVD、RTP、SPUTTERING、CVD SYSTEM和其他需量測溫度之製程。