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商品介绍
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TC Wafer3
  • TC Wafer

    热电偶镶嵌于Wafer表面,做为晶圆表面温度感测器,可即时量测并监控模拟真实产品所摆放位置之各点温度,观察温度升温、降温等过程的周期变化。
    产品应用:
    HOT PLATE、FURNACE、PVD、LP CVD、RTP、SPUTTERING、CVD SYSTEM和其他需量测温度之制程。